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ULM 520 S-E
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ULM 1000 S-E
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设备尺寸
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1080 x 380 x 480
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1500 x 380 x 480
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外测量的测量范围 [mm]
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0 至 520
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0 至 1025
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内测量的测量范围 [mm]
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0.5 至 365
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0.5 至 870
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直接测量范围 [mm]
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外测量:0 至 520
内测量:0.5 至 365 |
外测量:0 至 1025
内测量:0.5 至 870 |
测量不确定性 MPEE1 (L in mm) [µm]
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仅 ABBE 测量元素:MPE E1 ?(0.09+L/2000)
带基床测量系统:MPE E1 ?(0.6+L/1000) |
仅 ABBE 测量元素:MPE E1 ?(0.09+L/2000)
带基床测量系统:MPE E1 ?(0.6+L/1000) |
测量力 [N]
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0.2 ; 1.0 - 4.5 ; 11
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0.2 ; 1.0 - 4.5 ; 11
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可重复性 [µm]
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Abbe 测量元素:?0.05
基床测量系统: ?0.2 |
Abbe 测量元素:?0.05
基床测量系统: ?0.2 |
设备长度 [mm]
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1080
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1500
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质量 [kg]
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160
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215
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