外测量的测量范围 [mm]
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0 bis 600
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内测量的测量范围 [mm]
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0,5 to 445
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直接测量范围 [mm]
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200
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位置偏差 / 误差限度(长度 (mm))[µm] *
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≤ (0.07 + L/2000)
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测量不确定性 MPEE1 (L in mm) [µm]
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≤ (0,085 + L/1500)
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测量力 [N]
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0 to 13.9
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可重复性 [µm]
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≤ 0.05
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与操纵杆的接触速度(最大)
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8 mm/s
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设备长度 [mm]
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1660
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质量 [kg]
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480
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工作台表面 (A x B) mm
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150 X 300
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