圆度偏差(µm+µm/mm 测量高度)*
|
0,015 + 0,0003
|
---|---|
圆度偏差(µm+µm/mm 测量高度)**
|
0,03 + 0,0006
|
轴向跳动偏差(µm+µm/mm 测量半径)*
|
0.02 + 0.0001
|
轴向跳动偏差(µm+µm/mm 测量半径)**
|
0.4 + 0.0006
|
调心调平工作台
|
指南
|
工作台直径 (mm)
|
160
|
工作台负载,居中 (N)
|
200
|
速度 (rpm) 50 Hz / 60 Hz
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1-6
|
测量路径,机动 (mm),Z 轴
|
250
|
直线度偏差/100 mm 测量路径 (µm)**,Z 轴
|
0.4
|
直线度偏差/总测量路径 (µm)**,Z 轴
|
1
|
跟踪方向的平行度偏差 Z-/C-轴 (µm)
|
1
|
测量速度 (mm/s),Z 轴
|
0.5-30
|
定位速度 (mm/s),Z 轴
|
0.5-50
|
定位路径 (mm),X 轴
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150, 电动
|
定位速度 (mm/s),X 轴
|
0.5-30
|