接触速度(Z 方向)
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0.1 至 1 mm/s
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测杆长度
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175 mm, 350 mm
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测量速度(文本)
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0.2 mm/s 至 4 mm/s
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针尖半径
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25 µm
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扫描长度末尾(X 方向)
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120 mm
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分辨率
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Z 方向,相对探针针头:0.38 µm(350 mm 测杆)/ 0.19 µm(175 mm 测杆)
在 Z 方向,相对于测量系统:0.04 µm |
扫描长度开始(X 方向)
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0.2 mm
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取样角
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在平滑表面上,取决于偏差:后缘高至 88°,前缘高至 77°
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定位速度(文本)
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X 方向返回速度:0.2 至 8 mm/s
Z 方向:0.2 至 10 mm/s |
导块偏差
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< 1 µm(超过 120 mm)
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测量范围 mm
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(Z 方向)50 mm
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扫描长度(文本)
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0.2 mm 至 120 mm
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测量力 (N)
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1 mN 至 120 mN
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