接触速度(Z 方向)
|
0.1 至 1 mm/s
|
---|---|
测杆长度
|
175 mm, 350 mm
|
测量速度(文本)
|
0.2 mm/s 至 4 mm/s
|
针尖半径
|
25
|
扫描长度末尾(X 方向)
|
200 mm
|
分辨率
|
Z 方向,相对探针针头:
Z 方向,相对测量系统: |
扫描长度开始(X 方向)
|
0.2 mm
|
取样角
|
在平滑表面上,取决于偏差:
后缘高至 88°,前缘高至 77° |
定位速度(文本)
|
X 方向返回速度:0.2 至 8 mm/s
Z 方向:0.2 至 10 mm/s |
导块偏差
|
< 1 µm(200 mm 以上)
|
测量原则
|
探针法
|
输入
|
R 测头,MFW 250
光学测头 Focodyn*、LS 1*、LS 10* (*仅结合 PGK 或 GD 120 CNC 驱动装置) |
测量范围 mm
|
(in Z) 50 mm
MFW 250: ±25 µm,±250 µm,(最高 ±750 µm);±1000 µin,±10,000 µin(最高 ±30,000 µm) |
扫描长度(文本)
|
自动;0.56 mm;1.75 mm;5.6 mm;17.5 mm,56 mm,
(.022 / .070 / .224 / .700 / 2.240 英寸), 测量至挡块,可变 |
采样长度数量符合 ISO/JIS
|
1 至 50(默认:5)
|
测量力 (N)
|
1 mN 至 120 mN 左右
(可在 MarSurf XC 20 中设置) |