测量速度(文本)
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0.02 mm/s 至 10 mm/s;
粗糙度测量 推荐 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s |
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扫描长度末尾(X 方向)
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130 mm
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分辨率
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0.8 nm
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扫描长度开始(X 方向)
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0.1 mm
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定位速度(文本)
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0.02 mm/s 至 200 mm/s
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测量范围 mm
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13 mm (100 mm probe arm) |
扫描长度(文本)
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0.1 mm - 130 mm 或 260 mm
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测量力 (N)
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0.5 mN 至 30 mN,可软件调整
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